真空度顯示：顯示腔體內部的真空度數值

運行程序段：分為3個步驟，綠色表示運行狀態

①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣

進氣流量顯示：通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小，在兩個圖標顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時間：顯示設備清洗時間

功率:顯示當前設備清洗是清洗功率

設備溫度：顯示當前射頻電源設備溫度

放氣狀態：顯示當前放氣閥開啟或關閉狀態

清洗時間：點擊可設置設備運行清洗時間

清洗功率：點擊可設置設備運行清洗功率

開始運行：點擊可切換設備開始運行或者停止運行

參數設置：非專業人士請勿調節，如有需要請聯系廠家人員

射頻電源開關：按下產品前面板左邊的電源按鈕  此時產品通電啟動 液晶顯示屏點亮， 顯示啟動界面 2 秒，然后進入相應工作狀態顯示界面。在按一下則關閉射頻電源。

功率調節旋鈕：射頻功率調節，通過旋轉前面板上的功率設置旋鈕來增加或減小功率水平（順時針 旋轉為增加功率，逆時針旋轉為減小功率）。

射頻輸出的開啟和關閉：按下前面板上的射頻輸出 開【藍色按鈕】 打開射頻輸出，同時定時器開始倒計時； 按下射頻輸出 關【紅色按鈕】 關閉射頻輸出。

調節功率設置旋鈕：顯示內容“Wf"前的數值會發生相應的變化，此 時的數值為功率設定值；當按下射頻輸出 開【藍色按鈕】開啟射頻時，“RF OFF"將變成“Wr"，Wf 前的數值也會從 0 上升，當然 Wr 前的數值也會根據負載情況發生相應的變化,如果射頻電源的后端負載為 50 歐時，Wr 前的數值將為 0，即此時射頻輸出無反射功率；否則，Wr 前數值將根據負載情況顯示相應的反射功率值。

手動匹配器：通過調節前面板上的【MATCH】控制區的【TUNE】和【LOAD】旋鈕實現匹配器的手 動匹配，反射功率減低到 0W。

【MATCH】控制             【最大反射】指示                      【手動匹配】指示

 手動調節【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調節【TUNE】旋鈕，如果 Wf 數值增加，證明調節的百分比方向正確，否則往相反的方向調節；到 Wf 數值到達設置最大值，通過微調兩個旋鈕，實現 Wr 數值減低； b．調節【LOAD】旋鈕的方法同理。（通過兩個旋鈕調節觀察Wf值根據旋鈕調節變大  Wr值根據旋鈕調節變小）

2、軟件語言選擇

按下前面板上的【MENU】鍵進入主菜單中，通過前面板上的【UP】或【DOWN】鍵

選中主菜單中的第 1 項“Lang./語言"并按下【MENU】鍵確認，進入子菜單選中“English"

或“中文"并按【MENU】鍵確認即可切換相應的語言